TESCAN AMBER X

Eine einzigartige Kombination aus Plasma-FIB (Focused Ion Beam) und feldfreiem ultrahochauflösendem (UHR) Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) für die unterschiedlichsten Anwendungen in der Materialcharakterisierung im Multiskalenbereich.

Die TESCAN AMBER X ist ein einzigartiges FIB-REM-System, welches eine Xenon-Plasma-FIB mit feldfreiem UHR FE-REM kombiniert. Es wurde speziell für Anwendungen entwickelt, welche eine großvolumige Multiskalen-, multimodale Probencharakterisierung und Gallium-freie Probenvorbereitung und -modifikation erfordern. Die kombinierten Eigenschaften des schnellen und dennoch präzisen Plasma-Schneidens und der feldfreien UHR-REM-Bildgebung machen die TESCAN AMBER X zur bevorzugten Lösung für die Charakterisierung von Materialien in großen (bis zu 1 mm breiten) FIB-Querschnitten. Weitere Anwendungen sind beispielsweise multiskalige, multimodale FIB-REM-Tomographien zur 3D-Rekonstruktion und Visualisierung der Probenmorphologie, zur Elementanalyse (3D-EDX) und/oder Kristallorientierung (3D-EBSD) sowie die Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen unter Verwendung des inerten und implantationsfreien Ionenstrahls für nachfolgende Tests oder Charakterisierungen mit anderen Analysemethoden.