TESCAN
menu
Sledujte nás:

Vybrané články

Nejnovější články

Mikroelektricko-mechanické systémy

Mikroelektricko-mechanické systémy (MEMS) jsou součástky s mikrorozměry, ve kterých jsou integrovány ovladače, čidla, mechanické komponenty nebo elektrické obvody. Jsou vyráběny pomocí fotolitografie a chemického leptání křemíkového substrátu.

Semiconductors

Mikroelektricko-mechanické systémy

Rozměry přístrojů MEMS se mohou pohybovat v rozmezí jednoho mikrometru až několik milimetrů. Typickým příkladem zařízení MEMS jsou mikromechanické spínače v komunikačních obvodech pro fázový posun a přepínání signálů a mikrozrcátka pro přesměrování světla nebo pro korekci zkreslení způsobeného refrakcí vzduchu či anomáliemi čoček. Přestože se jedná o relativně mladou technologii, MEMS jsou v našem každodenním životě přítomny v mnoha běžně užívaných předmětech, jako jsou airbagové a navigační senzory ve vozidlech, řídicí jednotky pevných disků, inkoustové tiskové hlavy, detekce orientace ve smartphonech nebo kardiostimulátory a senzory krevního tlaku.

Přehledový snímek MEMS (Režim Wide Field)

Přehledový snímek MEMS (Režim Wide Field)

  • Skenovací elektronová mikroskopie (SEM) je ideální technikou, pomocí níž můžeme kontrolovat a lokalizovat hardwarové chyby a jejich příčiny v MEMS.
  • Vysoké rozlišení a velká hloubka zaostření jsou schopnosti, díky nimž jsou elektronové mikroskopy TESCAN vynikajícím nástrojem pro pozorování vzorků se složitou topografií, jako je MEMS.
  • Ultravysoké rozlišení při nízkém urychlujícím napětí, které umožňuje například MAIA3, může pomoci při detekci přítomnosti nežádoucích mikroskopických částic a jiných kontaminantů, které mohou vést k selhání zařízení.
  • Vysoký výkon elektronového tubusu MIRA umožňuje zkoumat i ty nejmenší trhliny, zlomeniny nebo jiné známky únavy materiálu nebo opotřebení v MEMS s pohyblivými částmi nebo nárazovými plochami.